Alat Rtec MFT-2000 (Multi Function Tribometer)

Komponen / Parameter Nilai / Jangkauan - Rentang beban (load) Dari mN hingga ~100 N (tergantung konfigurasi) - Stage XY 150 × 200 mm (area kerja) - Repeatabilitas posisi pada XY ± 1 µm - Kecepatan maksimum pada stage XY 50 mm/s - Stage Z Rentang ~150 mm - Resolusi (stage Z / penggerak) 0,1 µm dan 0,02 µm (tergantung mode) - Kecepatan maksimum Z ~10 mm/s - Kecepatan modul rotary Hingga ~5.000 rpm (untuk modul rotasi) - Frekuensi reciprocating (modul linear) Hingga ~80 Hz - Rentang temperatur lingkungan / chamber opsional Hingga ~1.000 °C (tergantung konfigurasi) - Kondisi lingkungan (opsi) –35 °C sampai 1.000 °C (opsional) - Daya listrik 240 VAC, 50/60 Hz (standar pabrikan) - Modul inspeksi / imaging 3D profilometer optik (in-line), mikroskop 3D, interferometri cahaya putih, mikroskop konfokal (opsional) - Sensor gaya / force sensor Sensor gaya dua dimensi (friction + down-force) dengan drift rendah - Kontrol / perangkat lunak Sistem kontrol penuh, kemampuan scripting protokol (“recipes”), pengambilan data banyak saluran